紫外臭氧清洗机

紫外臭氧清洗机（UVO），是一种简单，经济，快速高效的材料表面清洗设备，能快速去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝等）上的有机污染物。

MCGILL紫外臭氧清洗机采用长寿命UV石英低压汞蒸汽格栅灯，样品台高度可调并可选加热控温，以便达到最佳清洗效果。

产品特点

u 采用5寸彩色触摸屏设置显示计时时间及加热温度。

u 自动补偿功能，自动恒定光强光密度，不会因为低压汞灯老化光强衰减影响清洗效果。

u 数字倒计时显示清洗时间，1-999分钟之间可自行设置清洗时间。

u 任何时间可以手动中断处理过程。

u 自动记录之前清洗参数设置。

u 样品台可控温（可选），控温范围RT-260℃，控温精度0.1℃。

u 抽屉式开关盖方式，操作简单方便。

u UV石英低压汞蒸汽格栅灯，灯管寿命大约为8000小时。

u 高强度UV灯源，波长185nm和254nm。

u 可累计计时UV格栅灯使用时长，更换提示。

u UV反射罩（长X宽）比UV格栅灯大2.5cm，比如规格为13x13cm格栅灯反射罩尺寸大于15×15cm。

u 双重安全保护，带有安全锁，当清洗腔打开时，系统自动关掉UV灯，并有灯光通断提示。

u 带进&出气口双气路设计。

u 可接入氧气或者臭氧，增加臭氧产量。

u UVO5可选外置臭氧中和器，用于臭氧清除。

u 可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。

技术参数

注：UVO型基础型样品台不带加热功能；UVOT标配样品台加热功能。