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扫描电镜等离子清洗机

扫描电镜等离子清洗机采用远程等离子清洗源设计,清洗快速高效,低轰击损伤,主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。
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厂商性质: 生产厂家
产品时间: 2022-04-08

产品概述

品牌自营品牌产地类别进口
应用领域医疗卫生,生物产业,冶金,制药,综合

MCGILL扫描电镜等离子清洗机

MCGILL 扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用远程等离子清洗源设计,清洗快速高效低轰击损伤,主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。

产品特点

远程等离子清洗源

一机多用

高效低损伤

技术参数

产品型号

MCGL-SEM

法兰接口

KF40CF40

工作气压

0.3-3Pa

等离子电源

13.56MHz射频电源,射频功率5-150W可调,


远程等离子源,自动匹配器

气体控制

标配单路质量流量计(MFC)可选双路。50毫升/分自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响

气源选择

根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择

真空控制

美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计,测量范围1E-5Torr

真空保证

真空计和电磁阀安全互锁

操控方式

7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面

电源/功率

220V,50/60Hz,300W

可选配件

可选氧气、氮气、氢气发生器, 氢气纯度﹥99.999%,输出流量0-300ml/min 

质量保证

二年质保,终身维护

 


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