CUBE 金属夹杂物扫描电镜

l实时获得形貌信息

汽车制造、环境检测、钢铁、锂电池等

技术指标：

　　电镜扫描sem原理：

　　电镜扫描sem从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电du子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。

　　当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时可产生电子-空穴对、晶格振动（声子)、电子振荡（等离子体）。

    电镜扫描sem的结构组成：

　　1、力检测部分：

　　在系统中，所要检测的力是原子与原子之间的范德华力。所以在本系统中是使用微小悬臂来检测原子之间力的变化量。这微小悬臂有一定的规格，例如：长度、宽度、弹性系数以及针尖的形状，而这些规格的选择是依照样品的特性，以及操作模式的不同，而选择不同类型的探针。

　　2、位置检测部分：

　　当针尖与样品之间有了交互作用之后，会使得悬臂摆动，所以当激光照射在末端时，其反射光的位置也会因为摆动而有所改变，这就造成偏移量的产生。在整个系统中是依靠激光光斑位置检测器将偏移量记录下并转换成电的信号，以供SPM控制器作信号处理。

　　3、反馈系统：

　　将信号经由激光检测器取入之后，在反馈系统中会将此信号当作反馈信号，作为内部的调整信号，并驱使通常由压电陶瓷管制作的扫描器做适当的移动，以保持样品与针尖保持合适的作用力。