简述扫描电子电镜的正确维护保养方法

发布日期： 2023-06-01

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　　扫描电子电镜是现代化科研实验室中常见的高分辨率材料表征仪器之一。使用过程中正确的维护和保养措施能够延长其使用寿命并保证分析结果的准确性。下面介绍扫描电子电镜的基本维护保养方法。

　　1、正确使用

　　（1）预热：开机前至少5min预热。

　　（2）采用稳定的电源：稳定可靠的电源对仪器工作非常重要，建议使用电池式UPS。

　　（3）合理使用真空泵：真空泵是使仪器工作在真空下的关键设备，应注意真空泵主轴是否平行放置。

　　（4）禁止化学药品接触：如有需要进行试样处理，请先咨询相关技术人员。

　　（5）光源的注意事项：在使用过程中，请勿晃动或击打指示灯和调光器。

　　2、日常清洁

　　（1）手套操作：所有没有被尘埃覆盖的元件，如荧光屏、样品台等，操作时应佩戴手套保持清洁。

　　（2）抹布清洁：清洁元件时请用纯棉细布或无尘抹布蘸取去离子水进行清洁，不要使用普通毛巾或刷子。

　　（3）清理真空室：请勿使用有机溶剂直接擦拭真空室墙面和各个部件，避免对真空室造成氧化、开裂等损坏。

　　3、周期性维护

　　（1）热丝电子枪的定期更换：每隔几十到几百小时需要更换一次。

　　（2）外壳与机箱清洗：每月至少清洗一次。

　　（3）镜面的除尘：如低倍镜、中倍镜、高倍镜等磁盘上附着大量碳微粒或尘埃，请及时进行除尘。

　　（4）切换样品时要小心轻放，避免损坏内部结构。

　　4、维护注意事项

　　（1）日常操作过程中，应做到按键轻按、按钮轻转，避免过度用力伤及相关器材或装置。

　　（2）仪器因设备老化，可能会产生背景信号等噪音干扰，如果超出正常范围，请立即停机并与技术人员沟通。

　　（3）如果对软件进行升级，请先咨询厂家是否支持该升级操作，以免造成设备故障等严重后果。

　　在维护保养时务必严格遵守相关规定和步骤，尽可能减少人为因素对扫描电子电镜的影响，以确保设备长期稳定运行和数据的精准分析。

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