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两种常用电子显微镜的基本构造及使用方法

发布日期: 2023-05-01
浏览人气: 476
  常用电子显微镜是一种利用电子束来照射样品,通过电子与物质作用产生的各种信号检测样品结构、成分和性能等信息的高精度仪器。目前常用电子显微镜主要有透射电子显微镜(TEM)和扫描电子显微镜(SEM)两种。本文将介绍这两种电子显微镜的基本构造和使用方法。
 

 

  一、透射电子显微镜(TEM)
 
  1.基本构造
 
  透射电子显微镜的主要部分包括:电源、电镜柱系统、样品台、接收器、显示器等。
 
  2.使用方法
 
  (1)打开电源,使其预热至10-15分钟左右;
 
  (2)打开真空系统,实现真空操作;
 
  (3)稳定温度后,放入待检测样品;
 
  (4)调节电镜柱,改变电子束的位置和角度,获得所需的图像;
 
  (5)夹取样品后在光学系统调节对焦距离以及亮度、对比度等参数进行观察。
 
  二、扫描电子显微镜(SEM)
 
  1.基本构造
 
  扫描电子显微镜的主要部分包括:电子枪、透镜系统、扫描线圈、样品台以及检测器等。
 
  2.使用方法
 
  (1)打开电源,使之预热,通常需要约20分钟;
 
  (2)把带有待检测样品的样品架放置在进样口位置,并用丝杠将样品架移动到最佳的位置;
 
  (3)调节取景器和样品的特定方位和距离;
 
  (4)用较低的放大倍数初步观察样品表面整体结构并设置光子检测器参数;
 
  (5)选择合适的扫描倍率、扫描速度和像素大小观察所需区域。
 
  三、总结
 
  常用电子显微镜具有高分辨率、高灵敏度和高成像质量等优点,在材料科学、半导体技术、生物学和化学等领域广泛应用。掌握q基本构造和使用方法,对于正确、有效地进行样品观察和数据分析有着重要的意义。
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