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简述进口电子显微镜的调焦方法

发布日期: 2022-10-08
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  进口电子显微镜具有接触、轻敲、相移成像、抬起等多种工作模式,是一款集成原子力显微镜、摩擦力显微镜、扫描隧道显微镜、磁力显微镜和静电力显微镜于一体的设备,可以测量样品的表面特性,如形貌、粘弹性、摩擦力、吸附力和磁/电场分布等等。
 
  进口电子显微镜可实时获得样品表面的实空间三维图像。既适用于具有周期性结构的表面,又适用于非周期性表面结构的检测,可在真空、大气、常温、常压等条件下工作,甚至可将样品浸在液体中,不需要特殊的样品制备技术,除此之外,其理论横向分辨率可达0.1nm,而纵向分辨率更高达0.01nm,从而可获得物质表面的原子晶格图像,这使其成为了除了场离子显微镜和高分辨率透射电子显微镜外,第三个能在在原子尺度上观察物质结构的显微镜。
 
  无论是透明的材料或不透明材料、甚至荧光材料都可以分析出较为理想的效果。在较低放大率下,移动采样阶段可以找到待分析的样本、放大的和聚焦的样本。较简单的方法是找出边界明显的特征点,使用对比度、亮度、放大率和焦距来制作图像,然后在样本的基础上寻找或选择感兴趣的分析站点。
 
  进口电子显微镜的调焦结构分为微动调焦和粗动调焦两部分:
 
  1、微动调焦结构
 
  微动机构有齿轮式,杠杆式,行星轮式等结构形式,中以齿轮式粗、微动同轴结构使用得普通。
 
  2、粗动调焦结构
 
  粗动调焦机构一般采用齿轮与齿条的啮合运动形式,选用组织稳定而耐磨性较强的合金材料,并经过精密加工而成。当转动粗动手抡时,全相试样表面对光学系统发生相对运动,被调系统作准确的直线运动。移动时效尾与燕尾榴配合平稳,没合松动或过紧的现象。而齿轮与齿条的齿合精度由调整齿条与齿轮的中心距保证。
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