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简述扫码电子显微镜的样品制备方法

发布日期: 2022-05-12
浏览人气: 785
  扫码电子显微镜是利用二次电子和背散射电子信号,通过真空系统、电子束系统和成像系统获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等的一种分析仪器。随着科学技术水平的提高,其放大倍数可达几十万倍,分辨率可达纳米级别,是形貌和成分分析领域重要的一种工具。
  那么扫码电子显微镜的样品如何制备呢?
  1、块样
  对于金属、岩矿或无机物,切割成要求的尺寸,粘在样品台上。如果样品数量多,注意样品尺寸应一致。
  微区成分分析样品表面应该平台或经研磨抛光,可以保证检测时几何条件不变。对于样品的断口面,要选择起伏不大的部位,应是分析点附近有小的平坦区。样品表面和底面应该平行。
  非导电或导电性较差的材料,要先进行镀膜处理,在材料表面形成一层导电膜。以避免电荷积累,影响图像质量,并可防止试样的热损伤。
  2、粉样
  (1)微米级粉料:将粉样撒在样品台的双面胶上,用手指轻弹样品台四周,粉料会均匀地向四周移动,铺平一层,侧置样品台,把多余粉料抖掉;用纸边轻刮、轻压粉料面,使粉料与胶面贴实;用耳球从不同方向吹拂粉料。经此过程,粉料已牢固、均匀地粘在双面胶上。
  (2)对于亚微米级或纳米粉料进行成分分析:利用压片机压成结实的薄片。把薄片用双面胶粘在样品台上。
  因为扫码电子显微镜不是同时记录的,它是分解为近百万个逐次依此记录构成的。使得它除了观察表面形貌外还能进行成分和元素的分析,以及通过电子通道花样进行结晶学分析,选区尺寸可以从10μm到3μm。
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