扫描电子电镜(SEM)是利用电子束来照射样品表面,然后通过接收电子束的信号,产生高分辨率的图像的一种现代化的分析工具。本文将介绍扫描电子电镜的操作方法:
1.准备工作
(1)确保设备能正常运行;
(2)准备样品并安装好;
(3)检查探针长度是否恰当;
(4)检查吸附泵是否处于运行状态。
2.调整SEM
在进行扫描电子显微镜之前,您需要确保设备已被校准和调整。这包括:
(1)调整显微镜,以获得聚集的电子束;
(2)确定样品表面的中心位置;
(3)校准电子束的缩放比例和对焦位置;
(4)确定合适的操作条件,如加速电压、温度和压力。
3.开始扫描
完成了调整后,您可以启动SEM扫描。这包括:
(1)将加速电压设置为适当的值以控制电子束的引导;
(2)将样品聚焦在所选方向上,并调整探针的偏移量;
(3)调整电子束的形状和大小以获得最佳的分辨率;
(4)清洁测试区以确保清晰的扫描图像。
4.获取扫描图像
当SEM充分调整后,您可以开始获取扫描图像。此过程包括:
(1)确定光学显微镜和扫描电镜之间的交互;
(2)将光标移至图像上,以捕获其表面项目的细节;
(3)调整扫描速度和样品位置,以获得更全面的图像。
5.浏览和保存样品
然后您需要将样品从显微镜中拆出并安排保存。这可以通过在以下过程中完成:
(1)检查样品的表面质量和精细度;
(2)检查样品的软件属性,并进行分析和处理;
(3)将样品归档在电子显微镜图像库中。
结论
扫描电子显微镜是一种现代化的分析工具,在许多领域中起着关键作用。这篇文章介绍了操作的过程和感兴趣的方面,以帮助您更好地理解其原理和工作方法。