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扫码电子显微镜的结构组成分享

发布日期: 2022-11-25
浏览人气: 65
  扫码电子显微镜与扫描隧道显微的差别在于并非利用电子隧道效应,而是利用原子之间的范德华力作用来呈现样品的表面特性。假设两个原子中,一个是在悬臂的探针,另一个是在样本的表面,它们之间的作用力会随距离的改变而变化,当原子与原子很接近时,彼此电子云斥力的作用大于原子核与电子云之间的吸引力作用,所以整个合力表现为斥力的作用,反之若两原子分开有一定距离时,其电子云斥力的作用小于彼此原子核与电子云之间的吸引力作用,整个合力表现为引力的作用。
 
  下面要为您介绍的是扫码电子显微镜的结构组成:
 
  1、力检测部分:
 
  在系统中,所要检测的力是原子与原子之间的范德华力。所以在本系统中是使用微小悬臂来检测原子之间力的变化量。这微小悬臂有一定的规格,例如:长度、宽度、弹性系数以及针尖的形状,而这些规格的选择是依照样品的特性,以及操作模式的不同,而选择不同类型的探针。
 
  2、位置检测部分:
 
  当针尖与样品之间有了交互作用之后,会使得悬臂摆动,所以当激光照射在末端时,其反射光的位置也会因为摆动而有所改变,这就造成偏移量的产生。在整个系统中是依靠激光光斑位置检测器将偏移量记录下并转换成电的信号,以供SPM控制器作信号处理。
 
  3、反馈系统:
 
  将信号经由激光检测器取入之后,在反馈系统中会将此信号当作反馈信号,作为内部的调整信号,并驱使通常由压电陶瓷管制作的扫描器做适当的移动,以保持样品与针尖保持合适的作用力。
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