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扫描式电子显微镜与其它表面分析技术相比的优点介绍

发布日期: 2022-09-26
浏览人气: 303
   扫描式电子显微镜是国际上近年发展起来的表面分析仪器,是综合运用光电子技术、激光技术、微弱信号检测技术、精密机械设计和加工、自动控制技术、数字信号处理技术、应用光学技术、计算机高速采集和控制及高分辨图形处理技术等现代科技成果的光、机、电一体化的高科技产品。具有很高的分辨率,实用性强,从器件表征到物理化学、生命科学、材料科学等方面都有广泛应用。这是一套简易的装置,仪器成本合理,适用于科学研究。
 
  与其它表面分析技术相比,扫描式电子显微镜所具有的优点可归纳为以下五条:
 
  1、可实时地得到实空间中表面的三维图像,可用于具有周期性或不具备周期性的表面结构研究。这种可实时观测的性能可用于表面扩散等动态过程的研究。
 
  2、原子级高分辨率。如它在平行和垂直于样品表面方向的分辨率分别可达0.1nm和0.01nm,即可以分辨出单个原子,具有原子级的分辨率。
 
  3、可以观察单个原子层的局部表面结构,而不是体相或整个表面的平均性质。因而可直接观察到表面缺陷、表面重构、表面吸附体的形态和位置,以及由吸附体引起的表面重构等。
 
  4、配合扫描隧道谱STS可以得到有关表面结构的信息,例如表面不同层次的态密度、表面电子阱、电荷密度波、表面势垒的变化和能隙结构等。
 
  5、可在真空、大气、常温等不同环境下工作,甚至可将样品浸在水和其它溶液中,不需要特别的制样技术,并且探测过程对样品无损伤。这些特点适用于研究生物样品和在不同试验条件下对样品表面的评价,例如对于多相催化机理、超导机制、电化学反应过程中电极表面变化的监测等。
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