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记住了!通过这些操作能获得清晰的sem扫描电镜照片

发布日期: 2022-07-22
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  sem扫描电镜的成像原理不同于光学显微镜和透射电子显微镜。它以电子束为照明源,将非常精细聚焦的电子束以光栅扫描的方式照射到样品上,并通过电子与样品相互作用。然后将产生的二次电子、背散射电子等收集并处理,以获得微观形貌的放大图像。
 
  为了获得清晰的sem扫描电镜照片,必须能够执行基本的电子显微镜操作并优化各种样品的工作条件。基本操作包括熟练调整焦距和散光。对焦相对容易,改变焦距直到图像最清晰的那一刻。散焦较多时可使用较高的感光度,对焦点附近可降低感光度以进行精确对焦。
 

 

  在基本操作中消除散光是比较麻烦的,尤其是散光较大的时候,很多初学者都很难调整。然而,散光的产生之前已经介绍过了。由于电子束不再是圆形的,如果不消除散光,图像就不清楚。然而,在光学中有两个特殊位置,子午线和矢状线,其中光束点完全正交,清晰的圆圈一般在矢状和子午线的中间。
 
  所以反映在图像中,当改变焦距时,会出现两个严重的拉伸,而且拉伸方向可能因样品而异,但这两个拉伸方向必须是正交的。因此,此时将焦距调整到两个拉伸状态的中间位置,焦距基本固定。然后在这个焦距,调整散光线圈,先调整X或Y的一个维度,等图像清晰后再调整另一个维度。
 
  拉伸方向不难判断。样品中的各种特征点都可以作为判断的依据,比如孔洞或颗粒,或者样品的边缘,都可以很容易地判断出来。特别是在散光比较大的情况下,焦距和散光这两个维度不能乱调整,以免散光过大而完全无法判断。
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