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简述sem电子扫描电镜的各组成结构特点

发布日期: 2022-06-22
浏览人气: 442
   sem电子扫描电镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。它是用一束极细的电子束扫描样品,在样品表面激发出次级电子,次级电子的多少与电子束入射角有关,也就是说与样品的表面结构有关,次级电子由探测体收集,并在那里被闪烁器转变为光信号,再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度,显示出与电子束同步的扫描图像。
 
  在大多数应用中,在样本表面的选定区域上收集数据,并生成显示这些属性的空间变化的二维图像。由于电子的波长远小于光的波长,因此sem的分辨率优于光学显微镜的分辨率。
 
  下面咱们来了解下sem电子扫描电镜的各组成结构特点:
 
  1、电子光学系统
 
  由电子枪,电磁透镜,扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束,作为信号的激发源。为了获得较高的信号强度和图像分辨率,扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。
 
  2、信号收集及显示系统
 
  检测样品在入射电子作用下产生的物理信号,然后经视频放大作为显像系统的调制信号。现在普遍使用的是电子检测器,它由闪烁体,光导管和光电倍增器所组成。
 
  3、真空系统
 
  真空系统的作用是为保证电子光学系统正常工作,防止样品污染,一般情况下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。
 
  4、电源系统
 
  电源系统由稳压,稳流及相应的安全保护电路所组成,其作用是提供各部分所需的电源。
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